литография для формирования элементов субмикронных размеров

См. также в других словарях:

• лаборатория на чипе — Термин лаборатория на чипе Термин на английском lab on a chip Синонимы микросистемы полного анализа, micro total analysis systems Аббревиатуры LOC, µTAS Связанные термины актуатор, биологические моторы, биомедицинские микроэлектромеханические… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• микроморфология — Термин микроморфология Термин на английском micromorphology Синонимы Аббревиатуры Связанные термины агрегат, зерно, кристаллит, макропоры, межзеренная граница, мезопоры, микропоры, морфология, морфология наноструктур, агломерат Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий